济南量子技术研究院2021年9（至）9月
政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将济南量子技术研究院2021年9（至）9月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额
（万元） | 预计采购时间
（填写到月） | 备注 | | 1 | 超导器件项目(六) | a包： 1手动光学显微镜 6台参数：1、5倍，10倍，20倍，50倍，100倍明暗场物镜；2、8英寸载物台；3、正像三目观察筒，可以实现100%/0以及0/100％二档照相分光；4、绿色滤色片，紫外滤色片；5、摄像系统：摄像头，软件，工作站；6、明场观察，暗场观察以及微分干涉观察 2自动拼图光学显微镜 2台参数：1、5倍，10倍，20倍，50倍，100倍明暗场物镜；2、8英寸载物台；3、正向观察筒；4、绿色滤色片，紫外滤色片；5、摄像系统：摄像头；6、全自动扫描拼图 b包激光显微镜 1台，参数： 1、测量模式：短波激光针孔共聚焦光学模块，白光多焦面扫描模块，白光干涉模块。 2、检测激光光源：波长≤404nm紫激光,最大输出功率≤1mw，安全等级2类。 3、检测白光光源：高亮度led，同时具备环形照明、1/8环形照明、同轴落射、混合光照明（比例可调）等多种照明模式，照明角度软件切换，亮度可调。 4、总放大倍率≥22000倍，六孔电动物镜转换，物镜参数：2.5x、5x、10x、20x、50x（na≥0.95）、150x (na≥0.95)，10x干涉物镜。观测视野范围：12um-7200um 5、分辨率：xy光学分辨率≤0.13um，z轴高度显示分辨率≤0.1nm ， 表面形貌重复精度≤1nm，rms均方根重复精度≤0.5nm。 c包推拉力测试仪 1台，参数： 1、包含4个推拉力模组，最大分别为25g，100g,1公斤，5公斤； 2、包含各个模组推力校准杠杆； 3、包含各个模组砝码套件； 4、包含各模组钩针和推刀； 5、真空吸附夹具载盘，可360°旋转。 d包 icp刻蚀机-超薄介质干法刻蚀 1套，参数： 1、支持最大尺寸：8英寸； 2、icp源功率不小于3000w，rf电源功率不小于600w 3、系统极限真空优于8e-7 torr；真空室漏率优于1mtorr/min 4、sio2刻蚀垂直度>85°（刻蚀孔或槽均可达到 5、在6"测量面积内刻蚀均匀性<±5%； 6、片间均匀性<±5%； 7、配置独立水冷机，水冷机控温温度-30℃-+80℃。 8、sio2刻蚀，对光刻胶掩膜选择比>2.5:1 9、sio2低速刻蚀速率30-40nm/min 10、铝制下电极直径不小于240mm，可适用于2-8英寸晶圆。 11、反应腔室带有侧壁加热功能，最高温度可达80℃ 12、反应气路不少于6路。 13、配有预真空室，并配有独立使用的干泵，不可与主腔室共用。 14、预真空室带有慢抽和慢排空功能，并配有显示实时位置的晶圆传输机械手。 e包全自动化学机械抛光系统 1套，参数： 1）配有2个研磨抛光单元，实现2个研磨单元并行独立抛光模式抛光或者串行抛光模式； 2）抛光后表面粗糙度ra≤0.5nm（sio2、sin、si等介质及衬底材料）； 3）抛光最小去除量：50nm； 4）片内均匀性wiwnu：≤8%； 5）片间均匀性wtwnu：≤3%； 6）化学药剂冲洗及兆声去离子水清洗，氮气干燥； 7）硅片清洗后颗粒增加不超过20个/片（≥0.2um）； 8）硅片清洗后金属离子含量增加值不超过5e10原子/cm2； 9）抛光清洗一体化全自动控制，并配备sece/gem接口； 10）设备具备2套研磨液以及2套清洗液自动供液系统； 11）配备efem单元自动上下料系统； 12）支持晶圆尺寸及厚度：6inch，厚度450μm-1300μm f包关键尺寸扫描电子显微镜 1套，参数： 1、适合于6寸晶圆的检测、传输，并具有可以升级到8寸晶圆的能力。 2、测量重复性：3sigma≤2nm @130nm(line);标片(jqa标准/vlsi标准)同一点30次测试，每次测试包含进出传输过程； 3、测量精度：±1% @130nm(line);标片同一点30次测试，每次测试包含进出传输过程； 4、测量范围：0.05-2μm 5、分辨率 ≤2nm 6、放大倍率：sem图像1kx-300kx，光学显微图像约110x和220x 7、样台移动范围≥200mm (x和y轴) 8、加速电压300-1600v可调 9、高低倍切换时画面偏移量≤0.1μm 10、移动平台定位精度：±3μm 11、光学/电子镜头切换画面偏移量≤1μm 12、真空度 离子泵1≤2e-7 pa，离子泵2≤5e-6 pa，离子泵3≤5e-5 pa 13、软件与功能：包含错误跟踪、多点测量、边缘粗糙度测量、接触孔测量、自动图像归档、图形片自动对准及测试功能 14、通信接口：支持secs/gem 15、马拉松传片测试：连续传片300片(不加工艺)，不允许碎片，不允许机械故障停止； 16、测量后颗粒物增加：<30个@0.3μm； 17、承诺可以根据甲方的具体工艺要求，定制相应的优化方案并提供成套解决服务。例如：特殊衬底（透明）及特殊工艺的实现，设备改造，设备性能提升等。 g包半自动晶圆级电学测试系统 一、半自动探针台 1、配备双显微镜系统，长工作距离，方便点针，可以直接在显示屏上观察，分辨率1.68微米；机台标配vce侧面光路系统，方便点针测试点侧面可视化,未来支持垂直探卡测试升级， 2、样品台类型：适合8英寸及8英寸以内样品（可向下兼容6/4/2英寸wafer及单个dut4*4mm）真空吸附式测试载台，专用rf测试样品台样品提供两个辅助的射频校准样品台，并且陶瓷样品台同样提供真空吸附孔和独立的开关，更准确点射频校准，同时提供集成控制软件一体的射频校准软件，平整度＜5μm 3、样品台x和y方向电动移动范围≥210 | 6387.0 | 2021年11月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
济南量子技术研究院
2021年9月29日 |
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