[2017]102PEALD等离子增强原子层沉积系统设备采购招标公告 发布日期： 　　中国石油大学(华东)

　　PEALD等离子增强原子层沉积系统设备采购招标公告

　　中石大招标字[2017]102号

　　为满足学校学科项目建设的需要，需进行PEALD等离子增强原子层沉积系统设备的采购。采购以校内公开招标形式进行，欢迎有供货能力的专业仪器设备生产厂家或代理商前来报名投标。

　　有意参与投标者请速与中国石油大学（华东）招标办公室联系投标报名事宜。

　　1、招标人名称：中国石油大学（华东）

　　2、招标人地址：山东省青岛市经济技术开发开发区长江西路66号

　　3、招标项目的内容，数量:PEALD等离子增强原子层沉积系统，1套，预算55万元。

　　1)样品台：可放置直径4英寸圆片，兼容以下尺寸；

　　2)样品台加热温度：室温至400℃，控制精度±1℃；

　　3)真空系统：配有原装进口高性能机械泵系统，本底真空5×10-3Torr；

　　4)真空计：数字式压力传感器，测量范围10-5Torr-大气压；

　　5)反应腔室：腔体采用6061铝精加工，表面阳极氧化处理，真空漏率小于5*10-7Pa.L/s；

　　6)前驱体源系统：配置5路加热液态前驱体源，1路常温液态前驱体源，加热源装置及输运管路的最高加热温度可达到200℃，温度控制精度为±1℃；

　　加热液态前驱体源系统：每路配备Swagelok快速高温ALD阀、高温手动密封阀、50ml不锈钢源瓶和配套的加热及保温系统，独立进气；

　　常温液态前驱体源系统：配备Swagelok快速ALD阀、手动密封阀和200ml玻璃源瓶，独立进气；

　　7)等离子体发生器系统：ICP远程脉冲等离子体激励系统，配置0-300W射频等离子体电源，标配1路等离子体进气（氧气），选配两路等离子体进气（氮气、氨气）；

　　8)质量流量计：配置高精度数字式质量流量计控制，控制精度为±1%；

　　9)控制方式：工控机+PLC控制系统，人机界面采用触控屏；

　　10)尾气处理装置：抽气管路配置热阱，用于分解未反应的前驱体源，有效保护真空泵；热阱的最高加热温度能够达到500℃，温度控制精度为±1℃；

　　11)沉积非均匀性（Al2O3）：≤±1%。

　　详见招标文件附件。

　　4、投标人资质要求：凡有能力提供招标设备及服务的生产商或代理商均为合格的投标人。

　　5、交货时间:合同签订后60日内（如无法满足，请在投标文件中注明）

　　6、报名、购买招标文件的时间和地点：2017年12月5日-2017年12月11日。中国石油大学（华东）招标办公室，青岛校区图文信息中心0809室

　　7、投标的时间和地点：2017年12月19日14:30-15:00（截止时间），中国石油大学（华东）青岛校区图文信息中心0920室

　　8、开标时间：2017年12月19日15:00

　　9、招标文件售价：100元。

　　10、投标保证金：伍仟元，(投标保证金于开标前交到财务，凭投标保证金收据参加开标会议。地点：中国石油大学（华东）青岛校区图文信息中心二楼)。

　　招标联系人：徐老师王老师电子邮件：zhaobiao@upc.edu.cn

　　联系电话：0532—86981699/86981951

　　招标监督电话：0532-86983322

　　中国石油大学（华东）招标办公室